1、招标条件
项目概况:中芯集成电路制造（绍兴） 计划为中芯绍兴特种晶圆工艺生产线购买一批设备
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位
项目已具备招标条件的说明:具备了招标条件
2、招标内容
招标项目编号:0613-204522154268/01
招标项目名称:中芯绍兴特种晶圆工艺生产线项目第三十批--低压多晶硅生长机
项目实施地点:中国浙江省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 低压多晶硅生长机 | 1 | 利用SIH4和PH3 共同做一下生成多晶硅薄膜层 | / |
| 2 | 低压退火设备 | 1 | 实现鼓状晶圆快速退火，修复表面晶格损伤，均匀性好 | / |
| 3 | 硼磷氧化扩散炉 | 1 | 实现硼磷氧化扩散，均匀性好 | / |
| 4 | 氮化硅生长机 | 1 | 实现氮化硅生长，均匀性好 | / |
| 5 | 非掺杂多晶硅生长机 | 1 | 实现非掺杂多晶硅生长，修复表面晶格损伤，均匀性好 | / |
| 6 | 氧化物薄膜生长机 | 3 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
| 7 | 栅氧化薄膜生长机 | 2 | 设备通过反应生成氧化SIO2薄膜层 | / |
| 8 | 基于硅烷的氧化物/氮化物/抗反射层设备 | 1 | PEOX/SIN/DRAC Dep | / |
| 9 | 基于硅烷的氧化物/氮化物设备 | 1 | PEOX/SIN Dep | / |
| 10 | 基于TEOS的化学气相沉积 | 1 | TEOS Dep | / |
| 11 | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
| 12 | 次常压化学气相沉积 | 1 | SACVD Dep | / |
| 13 | 离子束去平机 | 1 | 金属膜离子束去平 | / |
| 14咨询电话18811547188 | 高真空离子镀膜金属溅射机 | 1 | AIN & Mo metal Dep | / |
| 15 | 物理气象沉积机 | 1 | 物理气象沉积/metal Dep | / |
| 16 | 光刻胶烘烤设备 | 1 | 实现光刻胶烘烤 | / |
| 17 | 光刻显影设备 | 1 | 实现光刻显影 | / |
| 18 | 光刻涂布设备 | 1 | 实现光刻涂布 | / |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）具有独立的法人资格，相应的经营范围。投标方应具有正规注册的办事处、维修站及零备件保税库。在中国境内应有专门负责的经验丰富的维修工程师和专门的技术应用支持工程师。 2）投标人提供的设备需要在业界有安装使用的经验 。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2020-10-16
招标文件领购结束时间:2020-10-23
是否在线售卖标书:否
7、联系方式
招标人:中芯集成电路制造（绍兴）
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidding.co
