低压力化学气相沉积仪-招标公告

低压力化学气相沉积仪项目已具备招标条件。资金来源自筹资金。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1 货物

1.2 招标编号：0779-21400316A022

1.3 设备技术性能：

1.3.1 该炉管设备包含高温氧化和低压化学气相沉积2根水平炉管分别为：干氧化和湿氧化生长氧化硅炉管、可控比氮化硅和低应力氮化硅炉管，同时预留额外2根炉管架构用于工艺升级（分别用于多晶硅和TEOS氧化硅沉积工艺），四根炉管之间的控制相互不受影响，关闭任意一套控制，其它三套不受任何影响；

1.3.2 每根炉管加热器选用APM加热元件，最高加热温度1300℃；

1.3.3 氧化炉管配置SiC炉管，满足高温氧化要求。

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同签订生效后210天内完成交付验收。

1.6 项目现场：中国北京海淀（北京长城计量测试技术研究所）安装现场。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人具有独立法人资格，提供有效的营业登记等许可经营的证明文件。

2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.3本次招标不接受联合体投标。

2.4投标人必须向招标代理机构

3. 招标文件获取

3.1 如有疑问，请致电航空工业电子采购平台服务热线400-890-0880。

3.2 招标文件售价800元，售后不退。

3.3 投标人必须在航空工业电子采购平台电子招投标专区注册，办理CA数字证书与电子签章，否则无法投标。（详见航空工业电子采购平台电子招投标专区相关说明）。

4. 投标文件的递交

4.1投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2021年06月07日09时30分，投标人必须在此时间前将加密的电子版投标文件传至航空工业电子采购平台电子招投标专区（ /rest/index）并在此时间前现场递交单独密封的纸质版投标文件。

4.2 纸质版投标文件递交地点为 大楼一层会议室。逾期送达的、未送达指定地点的或者不按照招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。

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来源：中国电力招标采购网 编辑：365trade.co