1. 招标条件
本招标项目高精度薄膜元件制备系统 该项目已具备招标条件，现对高精度薄膜元件制备系统进行国内公开招标。2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20260915A002 2.2 招标项目名称：高精度薄膜元件制备系统。 2.3 数量：1套。 2.4核心技术指标： 1) 有效监控光谱范围：0.4～2.4μm 2) 膜层有效控制精度：单层光学厚度2‰ 3) 镀膜层数：可达150 4) 真空室尺寸：1300mm 5) 有效均匀区：500mm 6) 有效均匀区均匀性：1% 7) 蒸发源：两把E型电子枪+6～8位旋转阻蒸 8) 基板沉积温度：90～250℃可调 9) 辅助沉积系统：RF射频离子源 10) 真空度：极限真空可达8×10-5Pa；大气环境至1×10-3 Pa，真空度抽气时间不超过30分钟 2.5 交货期：合同生效后5个月内。3. 投标人资格要求
3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。 3.2本次招标接受代理商投标，提供制造商有效授权。 3.3本次招标不接受联合体投标。 3.4其他要求：有委托代理人时，委托代理人须提供投标截止时间前最近6个月中任意1个月社保证明文件（如果委托代理人的社保不是投标人缴纳，需要另行提供委托代理人和投标人之间的用工合同及投标人委托第三方投保的有效代缴证明）。无委托代理人，法定代表人参与投标时，无需提供法定代表人（单位负责人）社保证明文件。 3.5投标人必须向招标代理机构4.
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade