招标公告

大面积曝光机项目已具备招标条件。资金来源国拨资金，出资比例为100%。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国电子科技集团公司第四十四研究所 （招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。

1. 招标范围

1.1货物名称：大面积曝光机。

1.2招标编号：0779-26400424A002。 

1.3主要功能要求:大面积曝光机主要用于12英寸读出电路晶圆图形曝光及大面积晶圆级键合对位。主要包括设备机架与主体、校准系统、光学系统、支撑系统、计算机控制系统和其他要求六个主要功能模块。

1.4主要技术指标：正面曝光加工尺寸12寸；双面对准加工尺寸6英寸；正面套刻精度＜0.5μm；双面套刻精度＜2μm；曝光均匀性＜±5%；真空吸附模式下分辨率＜1μm(正面)。

1.5数量：1台。

1.6 交货时间：2026年12月10日前。

1.7 项目现场：重庆市沙坪坝区西永微电园西永大道23号 。

2. 对投标人的资格要求

2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。

2.2 设备业绩要求：投标产品须为标准成熟产品，不得随投标而改变设备参数，投标时需提供产品实物图片，投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号的设备销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印。（合同乙方应为投标人或所投设备制造商），合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方及签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。

2.3本次招标接受代理商投标，投标人如果为代理商，必须获得制造商的合法授权，提供授权书。

2.4本次招标不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构

3. 招标

4.

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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade