EBL电子束光刻设备项目已具备招标条件。资金情况已落实。中科信工程咨询（北京） （招标代理机构）受中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所（招标人）的委托，对该项目进行国际公开招标采购。
1. 招标范围
1.1 货物名称：EBL电子束光刻设备
1.2 招标编号：0779-26400341A045
1.3 项目概况
EBL电子束光刻设备通过电磁场精确控制电子束扫描，实现无掩膜加工，可直接完成微纳结构的高精度图形化，具备高分辨率、高灵活性及快速响应等特点，适用于小批量、多轮次迭代的研发场景。该设备将用于面向量子传感应用的光子芯片等器件快速研发，支撑结构设计与优化、新原理方案验证。
设备主要指标：
（1）加速电压：≥100 kV；
（2）最小线宽：≤50 nm；
（3）套刻精度：≤±30 nm；
（4）主场拼接精度：≤±30 nm；
（5）最大主场尺寸：≥1000 μm* 1000 μm。
更多技术指标详见第八章。
1.4 数量：1套。
1.5 交货期：合同签订生效后6个月内到达用户现场。
1.6 项目现场：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所指定地点。
2. 对投标人的资格要求
2.1 投标人必须是响应招标的法人或其他组织，具有独立承担民事责任能力。
2.2本次招标接受代理商投标，代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。授权书包括制造商直接开具的；或制造商的独资公司开具的（同时须提供制造商与独资子公司的关系说明，并由双方签字或者盖章）。
2.3 投标人投标的同品牌同型号或同品牌相近规格（加速电压相同）设备，2022年1月1日至今销售量≥2套，提供设备销售业绩证明。（有效的合同首页复印件、技术协议复印件、合同复印件对应的发票复印件或不低于20%的收款证明，同时提供合同
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来源：中国电力招标采购网
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编辑：ebid.eavic