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来源：中国电力招标采购网
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编辑：365trade
招标公告
1. 招标条件
本招标项目PECVD 该项目已具备招标条件，现对PECVD进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20260424A017
2.2 招标项目名称：PECVD。
2.3数量:1台
2.4 主要内容：PECVD要求为国产全新设备，主要用于6英寸InP基晶圆的镀膜工艺，要求能采用等离子体增强化学气相沉积的方式成膜，能够制备SiNx、SiO2、SiNxOy等单层或多层薄膜。PECVD为具有3个工艺腔体的全自动机台，要求腔体均配备气态SiH4，能够制备SiNx、SiO2、SiNxOy等薄膜。设备具备自动传送晶圆及连续成膜功能，主要包括真空腔室、真空系统、晶圆传递系统、载片台装置、气路输运控制系统、水冷却管路、晶圆冷却系统、电源系统、设备安全系统、计算机控制系统等模块。
2.5 交货
2.6 交货期：合同生效后180天内。
3. 投标人资格要求
3.1 依法设立的证明：投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 业绩要求：投标人需提供2023年1月1日至今已签订的本次投标同型号或同系列设备的销售业绩≥3台，须提供设备采购合同复印件（合同乙方应为投标人）。合同内容须体现合同标的物、数量、签订日期、甲乙双方签字或盖章页、设备型号等能反映业绩要求的主要内容，未按上述要求提供的业绩证明不予认可。
3.3 其它要求：本项目不接受代理商投标。
3.4本次招标不接受联合体投标。
3.5 投标人必须向招标代理机构
4.