| 序号 | 名称 | 单位 | 数量 | 规格型号 |
| 1 | 阻氚涂层制备系统 | 套 | 2 | 1.真空度优于9×10-6Pa;加热温度不低于800°C,温度均匀性±4°C;可制备高质量单晶外延薄膜材料以及陶瓷、氧化物、氮化物等;准分子激光器,单脉冲能量700mJ,频率10Hz,波长248nm,平均功率7.5w,脉宽20ns,能量稳定性1%。 2.实现内径不大于10mm的管道内壁涂层涂覆;基片温度RT~400°C可控,控制精度±1°C;涂层沉积均匀性<±1%;实现A12O3、ZiO2等氧化物涂化物涂层制备。 |
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编辑:365trade
