1、招标条件
项目概况:上海科技大学氟化氙刻蚀仪 XeF2 etcher、SiO2材料HF蒸汽干法刻蚀HF vapor etcher
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:1447-184186443116
招标项目名称:上海科技大学氟化氙刻蚀仪 XeF2 etcher、SiO2材料HF蒸汽干法刻蚀HF vapor etcher
项目实施地点:上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 氟化氙刻蚀仪 XeF2 etcher | 1 | ★具备脉冲气流刻蚀工艺，可选择纯XeF2进气和XeF2/N2混合进气能力 | |
| 2 | SiO2材料HF蒸汽干法刻蚀HF vapor etcher | 1 | ★设备具有酒精蒸发器、设备具有交叉气流进出口歧管、系统含有ALD气阀门用于供气、酒精供应系统配备低死区液体阀 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:(1)投标方或制造商需提供同类型设备的使用实绩，且运行良好，并提供用户清单；
资格标准：投标人必须提供营业执照或三证合一或商业登记证书复印件、及业绩的相关证明材料（提供合同复印件或者中标通知书）（复印件加盖公章）
（2）要求提供原厂家的技术参数表或说明
（3）投标人或制造商在有固定的供货与售后服务、维修保养机构；
（4）如投标人是贸易代理商，应提供该设备的制造商出具的授权函；
（5）投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明复印件或原件；
（6）本项目不允许联合体投标；
（7）投标截止前，投标人未在招标网完成注册的不得参加投标；投标人必须在国际招标网（http://www.chinabidding.com）上注册。
（8）进口设备的投标单位必须具备签订外贸合同的条件；
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-07-05
招标文件领购结束时间:2018-07-12
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：瞿溪路350号1楼
招标文件售价:￥600/$100
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-07-26 10:00
投标文件送达地点:瞿溪路350号1楼
开标地点:瞿溪路350号1楼
6、投标人在投标前需在国际招标网上完成注册。评标结果将在国际招标网公示。
7、联系方式
招标人:上海科技大学
地址:华夏中路393号
联系人:厉莉
联系方式:021-20685185
招标代理机构:上海健生教育配置招标有限公司
地址:上海市黄浦区瞿溪路350号1楼
联系人:陈瑜
联系方式:021-53087657
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):交通银行西藏南路支行
招标代理机构开户银行(美元):交通银行闸北支行
账号(人民币):310066564018150027780
账号(美元):310066441141000001909