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项目名称:晶圆电化学沉积系统
招标项目编号:2947-264hs2026g07
招标范围:晶圆电化学沉积系统 1套 (含电镀机主机、电镀模块、电镀后清洗去边模块等,具体指标详见技术规格)
招标机构:浙江豪圣建设项目管理有限公司
招标人:乾元国家实验室
开标时间:2026-06-10 09:30
公示时间:2026-06-18 17:44 - 2026-06-24 23:59
中标结果公告时间:2026-08-20 17:23
中标人:德虹科技有限公司
制造商:MOT
制造商国家或地区:德国
