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招标项目编号：0730-264010020011/31
项目名称：等离子增强型化学气相沉积设备Non Harsh干泵和干刻机Non Harsh干泵（TM干泵）和干刻机Non Harsh干泵（LL干泵）
项目名称（英文）：Plasma-enhanced Chemical Vapor Deposition Equipment Non Harsh Dry Pump and Dry Etching Machine Non Harsh Dry Pump(TM Dry Pump)and Dry Etching Machine Non Harsh Dry Pump(LL Dry Pump)
招标人：厦门天马微电子有限公司
招标机构：中航招采科技（北京）有限公司
招标方式：公开招标
招标结果：重新招标