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项目名称：8吋金属刻蚀设备采购项目
招标项目编号：0722-264YDZB13ZB2/02
招标范围：02包：采购全新8吋金属刻蚀设备1套，用于8吋线干法刻蚀工序，为实现半导体集成电路8吋硅片制造流程中的金属刻蚀工艺。（设备通过电感耦合方式产生高密度等离子体，以达到去除特定区域金属膜层，主要用于8吋IC、Power、SiC等领域Al Line、Al Pad、W刻蚀工艺。
招标机构：中国远东国际招标有限公司
招标人：陕西电子芯业时代科技有限公司
开标时间：2026-08-24 09:30
公示开始时间：2026-08-27 14:35
评标公示截止时间：2026-09-01 23:59
中标候选人名单：无中标候选人