首次公告日期：2017年08月29日
本次变更日期：2017年09月07日
更正事项、内容：
1、本项目第6包技术参数更正如下：
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原参数 |
修改后参数 |
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4.1.1 e. *1个分子泵（700 L/s）； |
*1个分子泵（700 L/s）；或2个360 L/s 的分子泵 |
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4.1.2 e. 1个分子泵（700 L/s）； |
1个分子泵（700 L/s）；或2个360 L/s 的分子泵 |
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4.1.3 c. 2个剥离气体循环泵（250 L/s） |
#1套剥离气体循环泵（总量≥ 500 L/s） |
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4.1.5 c. *1个分子泵（700 L/s） |
#1个分子泵（700 L/s）或2个360 L/s 的分子泵
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4.1.6 c. *1个分子泵（400 L/s）； |
#1个分子泵（400 L/s） |
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