1、招标条件
项目概况:等离子体刻蚀系统
资金到位或资金来源落实情况:已到位
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
编号:0730-174011020182/62
名称:等离子体刻蚀系统
项目实施地点:中国湖北省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 等离子体刻蚀系统 | 1台 | 需要被刻蚀：Al2O3、SiNx、SiOx、SiON Al2O3刻蚀要求 刻蚀速率：≥ 500？ / min 均一性：≤ 10% 残留：无残留 片间均一性: ≤ 3% ( 5片) 批次间均一性: ≤ 5% ( 3次跑片, 3片 / 1次 ) 腔室间均一性: ≤ 5% SiNx 刻蚀要求 刻蚀速率：≥ 3000？ / min 均一性：≤ 10% 残留：无残留 片间均一性: ≤ 3% ( 5片) 批次间均一性: ≤ 5% ( 3次跑片, 3片 / 1次 ) 腔室间均一性: ≤ 5% | 0730-174011020182/62 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:（1）制造商应具有制造同类设备的经验，有销售业绩。制造商在中国有代理或维修机构能对产品提供长期维修服务保障。投标方推荐的设备应成熟可靠，2011年1月至今必须有同类型设备 4 台以上销售记录，用户反映效果良好。
（投标人需要按照下表格式要求提供业绩资料）。
（2）一旦中标，投标人必须是与买方签订本项目合同的签约方。如投标人不具备与买方签订合同的能力，其投标将被否决。（说明：招标中必须谁投标、谁中标、谁签合同，不能甲投标，乙签合同。）
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2017-12-25
招标文件领购结束时间:2018-01-02
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：http://www.dlztb.com///
招标文件售价:￥3500/$600
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-01-16 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
