1、招标条件
项目概况:详见招标文件。
资金到位或资金来源落实情况:已落实。
项目已具备招标条件的说明:项目已经上级主管机关审批
2、招标内容
编号:0675-184JOC105024/03
名称:刻蚀机（19#）
项目实施地点:中国江苏省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 刻蚀机（17#） | 1台 | ★用于刻蚀POLY Si；★兼容6寸硅片及透明片；★含预真空室，配备cassette to cassette自动传输系统；★对SiO2选择比>30，角度>87°，速率>5000A/min,刻蚀均匀性片间≤±5%。 | |
| 2 | 刻蚀机（18#） | 1台 | ★用于刻蚀SiO2和Si3N4；★兼容六寸硅片及六寸透明片；★配置1个load lock腔和3个工艺腔；配置cassette to cassette自动传输系统。★速率>3000A/min, 6寸圆片刻蚀均匀性≤±5%，对Si选择比>10，侧壁角85~89度。 | |
| 3 | 刻蚀机（19#） | 1台 | ★用于刻蚀SiO2，自动传片；★兼容6寸硅片及6寸透明片；★设备配至少一个loadlock腔体及两个刻蚀腔体，能实现cassette to cassette自动传片；★刻蚀速率>3000A/min, 片内刻蚀速率均匀性≤±5%，主刻蚀腔底部角度>80度，第二刻蚀腔顶部碗口<60度， RF功率50-600W可调。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:是否接受联合体投标：不接受
未领购招标文件是否可以参加投标：不可以
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-02-06
招标文件领购结束时间:2018-02-12
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-03-02 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
