1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备，满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求
用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设备日常生产所需的纯化水和高纯气体的纯度提升，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于EPI设备气体纯化
满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于承载EPI设备气体纯化器
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。/
用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。
用于半导体行业硅片的倒片、分检，适用于12英寸硅片，满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
编号:0613-184022080284/01
名称:聚焦离子束设备
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 聚焦离子束设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的聚焦离子束设备，满足28纳米和14纳米的工艺研发及量产要求 | |
| 2 | 光刻机纯化器 | 6 | 用于12英寸集成电路生产企业的液浸式光刻设备日常生产所需的纯化水和高纯气体的纯度提升，满足28nm以下的工艺研发及量产需求。 | |
| 3 | 气体纯化器 | 4 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于EPI设备气体纯化 | |
| 4 | 气体纯化器气柜 | 3 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm、14nm工艺研发和量产要求，用于承载EPI设备气体纯化器 | |
| 5 | 晶圆级半自动测试仪设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。/ | |
| 6 | 晶圆级并行测试系统设备 | 1 | 用于12英寸集成电路生产企业的可靠性项目测试，能够满足华力集成电路制造有限公司28纳米的工艺研发并量产。 | |
| 7 | 硅片倒片机 | 19 | 用于半导体行业硅片的倒片、分检，适用于12英寸硅片，满足28nm及以下工艺研发和量产的技术需要。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备10台以上的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-02-11
招标文件领购结束时间:2018-02-23
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场16楼（）
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-03-06 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
