1、招标条件
项目概况:科学研究
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
编号:0613-184022200733
名称:中国科学院上海微系统与信息技术研究所感应耦合等离子体刻蚀机
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 感应耦合等离子体刻蚀机 | 1套 | 3.4.2* 工艺气路：≥4路MFC（至少包括CF4，SF6，Ar，O2），满足铌、氮化铌材料的ICP刻蚀；工艺气路管道采用EP级不锈钢钢管，配置颗粒过滤器及截止阀。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1)如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，投标人应得到制造商同意其在本次投标中提供该货物的正式授权书；
2) 投标人开户银行在开标日前三个月内开具的资信证明原件或复印件；
3)货物制造商从 2016 年起在中国境内有不少于10个刻蚀类设备的销售业绩，证明文件主要包括：（1）用户清单：用户名称、设备名称、
4）货物制造商具有ISO9000系列资格认证。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-03-23
招标文件领购结束时间:2018-03-30
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场1610室
招标文件售价:￥800/$200
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-04-13 09:30
投标文件
项目负责人：李阳（女士）
手机：13683233285
电话：010-51957458
QQ：1211306049
邮件：1211306049@qq.com
