上海新微技术研发中心有限公司8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统招标

上海新微技术研发中心有限公司8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统招标
上海新微技术研发中心有限公司8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统招标
受上海新微技术研发中心有限公司委托，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统采购进行招标，欢迎合格的供应商前来投标。项目名称：8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统采购
项目编号：0705-184015604148 1  受上海新微技术研发中心有限公司（以下简称“招标人”）的委托，现邀请合格投标人就下列货物和有关服务提交密封投标：

品目号
货物名称 数量
交货期

1
8寸氮化铝、深硅和介质刻蚀系统
1.  深硅刻蚀腔体。 3.  金属刻蚀腔体（Al，Mo，AlN，AlScN）。
4.  光刻胶刻蚀腔体。
1套
2019年4月15日前

2  本次招标所需的资金来源已经落实。 1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；2）投标货物须是全新设备，投标人必须在其投标文件中对每项投标货物明确说明；3）投标人及投标货物的制造商近三年内在经营活动中没有重大违法记录，无利用不正当竞争手段骗取中标，无重大经济刑事案件，未因自身的任何违约、违法或违反商业道德的行为而导致合同解除或作为被告败诉；4）投标人或投标货物的制造商应具有履行合同所必须的设备和半导体专业技术能力，且提供在最近两年（2016年1月1日起至今）内的氮化铝、深硅和介质刻蚀系统工艺设备整机的装机经验（投标人须提供与客户的交易凭证、验收报告等资料）；5）投标人需提供最近两年（2016年1月1日起至今）内在国内外同型机台销售数量超过10台或在国内外有FAB或研究机构的客户超过3家且具备使用同类型机台的经验（投标人需提供相关证明文件，如订单、合同等）。6）投标人在中国境内应设有售后服务团队，能提供本地化的售后服务；如有资深的设备维护团队（包括：设备、工艺工程师），需提供相应的证明材料。7）投标人若为代理商，须获得并提供投标货物制造商出具的针对本项目的独家授权书8）本项目不接受联合体投标；
三、招标文件的发售时间等：
预算金额：2600.0万元（人民币）
时间：2018年11月20日09:00至2018年11月27日16:00(双休日及法定节假日除外)