中国电子科技集团公司第二十六研究所等离子体耦合全自动金属刻蚀机采购项目
国际标招标公告
1、招标条件
*项目概况：
等离子体耦合全自动金属刻蚀机，采用等离子体耦合，主要用于体声波（BAW）器件金属以及金属化合物薄膜刻蚀，满足高频、宽带和高功率的体声波器件制作要求。
*资金到位或资金来源落实情况：国拨资金,资金来源已落实。
*项目已具备招标条件的说明：资金来源已落实。
2、招标内容
*招标项目编号：0618-194TC190372G/01
*招标项目
*项目实施 最终刻蚀形貌以及片内的均匀性需要满足最终体声波器件性能以及信赖性，设备具备低电极损伤能力，对下电极材料的损伤做到最小，最小线宽0.25微米。
3、投标人资格要求
*投标人应具备的资格或业绩：
*1）①如果投标人所投的货物不是投标人自己制造的，接受投标人提供的制造厂商针对本项目的正式的授权书原件，或中国总代理、地区或区域代理出具的授权书等证明投标货物合法来源的证明，不接受代表处、办事处、 等不具备独立承担民事责任能力单位的授权。
②投标主要货物非投标人生产的，则投标人必须提供就该次投标获得制造商的维修承诺，证明其投标货物和服务获得货物制造商售后维修服务的保证。提供投标人（制造商）在国内的厂家办事处或 及维修服务中心的营业执照副本，并提供
①营业执照（三证合一后的营业执照副本）（境内投标人）。 ②招标技术文件中要求的其它资质文件。 *3）业绩要求： 2015年以来，在半导体行业销售5台（含）以上投标机型或者其同系列机型金属刻蚀机工艺腔室的产品。提供包含但不限于设备采购合同（所供产品须为此次投标产品制造厂商出品）、验收合格证明和用户单位
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
