1、招标条件
项目概况:CVD设备采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0623-1940J1110102
招标项目名称:CVD设备采购项目
项目实施地点:中国湖南省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | PECVD | 1台 | PECVD系统用于在IGBT硅片上沉积PSG、BPSG、USG、Si3N4、SiON或一些其它的电介质层 | 全新或原厂翻新 |
| 2 | SACVD | 2台 | SACVD系统用于在IGBT硅片上沉积BPSG、PSG、USG或一些其它的电介质层 | 全新或原厂翻新 |
| 3 | WCVD | 1台 | WCVD系统用于在IGBT硅片上沉积钨 | 全新或原厂翻新 |
| 4 | PVD(Ti)&CVD(TiN) | 2台 | 该设备配置PVD钛工艺腔和MOCVD氮化钛工艺腔用于IGBT和FRD淀积Ti和TiN工艺 | 全新或原厂翻新 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，所投设备制造商2016年1月至本项目投标截止时间之前PECVD设备的销售业绩不低于20台；SACVD设备的销售业绩不低于10台；WCVD设备的销售业绩不低于20台；PVD(Ti)&CVD(TiN)设备的销售业绩不低于10台（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-10-09
招标文件领购结束时间:2019-10-15
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购
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