上海交通大学物理与天文学院感应耦合等离子刻蚀机采购项目招标公告
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项目名称 |
物理与天文学院感应耦合等离子刻蚀机采购项目 |
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项目编号 |
招(设)[2019][B]085号 |
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项目内容 |
采购内容：感应耦合等离子刻蚀机； 数 量：1台 预算金额：人民币98.00万元。 简要规格描述或项目基本概况介绍：2.1本底真空: 优于 5×10^-4 Pa；★2.2射频电源： Source功率不低于1200W， Bias功率不低于1000W，射频电源带自动匹配器。其余详见“第五部分设备技术规格与商务要求” |
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交货地点 |
交大用户指定地点 |
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交货期 |
签订合同后三个月内 |
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付款方式 |
预付30%，验收合格后付60%，质保期后付10% |
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招标 | |||
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidd
