| 采购条目编号 | 采购条目名称 | 数量/单位 | 产地类型 | 预算金额 （人民币/元） |
| 赣购2019B000274203 | 原子层沉积系统 | 1套 | 国外 | 5500000.00 |
| 简要技术要求 | ||||
| 设备主腔体采用双腔（真空腔+反应腔）全热壁设计。真空腔体外壁不用任何冷却方式即可保持温度低于60摄氏度（确保人体接触安全）。 | ||||
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来源：中国电力招标采购网 编辑：
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