1. 招标条件
本招标项目CD-SEM线宽全自动测量系统 该项目已具备招标条件，现对CD-SEM线宽全自动测量系统进行国内公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 招标编号：ZKX20250341A074
2.2 招标项目名称：CD-SEM线宽全自动测量系统
2.3 数量：壹套
2.4 设备用途及系统组成：
设备用途：CD-SEM线宽全自动测量系统主要应用于光栅磁光阱芯片、波导芯片的光刻工艺之后，200~1000nm分辨率光刻线宽的全自动测量。
系统组成：CD-SEM线宽全自动测量系统主要由控制台、主机、载片控制单元、冷水机、干式真空泵等组成。
2.5 交货
2.6 交货期：合同签订后4个月内到货。
3. 投标人资格要求：
3.1 投标人须具有独立承担民事责任能力的在中华人民共和国境内注册的法人或其他组织，具备有效的营业执照或事业单位法人证书或其它营业登记证书。
3.2 本次招标不接受联合体投标。
3.3本次招标接受代理商投标。一个制造商对同一品牌同一型号的设备，仅能委托一个代理商参加投标。提供制造商针对本项目（带本项目招标编号）的授权书（原件）。
3.4 财务要求：投标人应附2024年经会计师事务所或审计机构审计的财务会计报表，包括审计报告正文、资产负债表、现金流量表、利润表的复印件。投标人的成立时间少于上述规定年份的，应提供成立以来的财务报表。投标人为科研院所、高等院校等事业单位的可提供经审计的或单位内审的2024年财务报表。
3.5 业绩要求：投标厂商2022年至今有交付的CD-SEM类设备3个以上（含3个）的成功案例，且提供有效的合同复印件、合同复印件对应的发票复印件或验收报告或收款证明等文件；
3.6 信誉要求：投标人在经营活动中，无严重违法失信记录，具有良好的信誉。提供相关证明材料（如信用中国或国家企业信用信息公示系统或中国执行信息公开网的查询结果）或信誉承诺书。
3.7 投标人必须向招标代理机构
