| 公告信息： | |||
| 采购项目名称 | 大连理工大学光刻机 | ||
| 品目 | 货物/专用设备/电工、电子专用生产设备/电子工业专用生产设备 | ||
| 采购单位 | 大连理工大学 | ||
| 行政区域 | 大连市 | 公告时间 | 2017年07月19日 18:48 |
| 预算金额 | ￥120万元（人民币） | ||
| 联系人及联系方式： | |||
| 项目联系人 | 宋亮 | ||
| 项目联系电话 | 0411-39980953 | ||
| 采购单位 | 大连理工大学 | ||
| 采购单位地址 | 中国大连高级经理学院3号楼大连理工大学采购与招标管理中心304室（大连市高新园区红凌路777号） | ||
| 采购单位联系方式 | 宋亮；cgzbdlut@dlut.edu.cn | ||
| 代理机构名称 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构地址 | 详见公告正文 | ||
| 代理机构联系方式 | 详见公告正文 | ||
根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定，现对大连理工大学光刻机进行单一来源招标，欢迎合格的供应商前来投标。
项目名称：大连理工大学光刻机
项目编号：DUTASD-2017057
项目联系方式：
项目联系人：宋亮
项目联系电话：0411-39980953
采购单位联系方式：
采购单位：大连理工大学
采购单位地址：中国大连高级经理学院3号楼大连理工大学采购与招标管理中心304室（大连市高新园区红凌路777号）
采购单位联系方式：宋亮；cgzbdlut@dlut.edu.cn
一、拟采购的货物或者服务的说明:
本项目拟采购一台光刻机，其分辨率为0.8微米，均匀度为正负2.5%。同时，支持大景深的加工制作。供应商负责供货、安装及售后。
二、采用单一来源采购方式的原因及相关说明:
本项目制作的纳米线尺寸只有几十纳米，因此需要高精度的制作仪器来制作整齐的、高质量的纳米线，光刻机是能满足本需的仪器之一。
本项目在制作高灵敏度高精度的图像传感器时需要超高精度的加工手段来生长纳米线，因此对分辨率的需求要在1微米以下，目前世界上最高精度为0.8微米。其次，对薄膜的均匀度有极高的要求，最少要达到正负2.5%，这就保证了本项目在光刻胶上制作图案及生长的纳米线的长度、宽度的均匀性，对之后制作出的超高精度图像传感器的均匀性有着决定性的作用。同时，本项目还需要大景深的加工制作，对已经制作出来的图案进行二次加工，用于对纳米线生长部位进行再加工，能够更加保证纳米线的均匀性生长。
本项目拟购置的MJB4的精度可以达到0.8微米，均匀度可以达到2.5%，同事具有大井深加工功能。目前国内仪器的精度都在2微米以上，不满足使用需求。
国外其他制造商的产品精度都在1微米以上，也不满足本项目的实验需求，且不具备大井深刻蚀功能。
综上所述，只有SUSS公司的MJB4产品能够满足本项目的需要，故只能从唯一供应商处采购。
三、开标时间：2017年07月25日 08:30
四、拟定的唯一供应商名称及其地址：
制造商名称：The SUSS MicroTec Group代理商名称：大连新起点仪器有限公司地址：辽宁省大连市甘井子区宏伟街24号1单元3层1号
五、其它补充事宜
六、预算金额
预算金额：120.0 万元（人民币）
