北京燕东微电子科技有限公司燕东科技PD产品一期量产设备采购国际招标

北京燕东微电子科技有限公司燕东科技PD产品一期量产设备采购国际招标
北京燕东微电子科技有限公司燕东科技PD产品一期量产设备采购国际招标
受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2018-11-07公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:燕东科技PD产品一期量产设备采购
资金到位或资金来源落实情况:企业自筹资金，已落实。
项目已具备招标条件的说明:招标条件已具备。
2、招标内容
招标项目编号:0610-1840IH011143
招标项目名称:燕东科技PD产品一期量产设备采购 招标产品列表(主要设备):

序号
产品名称
数量
简要技术规格
备注
湿法清洗机PreClean
1台
适用于炉前洗净工程
招标编号：0610-1840IH011143

2
湿法剥胶机PRStrip
1台 招标编号：0610-1840IH011143

3
中温氧化炉MTFurnace(N2LL)
8台
专用中温氧化退火工艺
招标编号：0610-1840IH011143

4
PVDmetal(1SIPTi+2STDTiN+2STDAL)
1台
适用于金属钛，氧化钛以及金属铝的表面成膜工艺
5
PVDLinerBarrier(2SIPTi+2SIPTiN)
1台
适用于高深宽比沟槽内部的金属成膜工艺以及金属阻挡层工艺
招标编号：0610-1840IH011143

6
干法多晶刻蚀机POLY(3PMCH)
5台
适用于多硅晶，以及STI浅沟槽隔离结构的蚀刻用途
招标编号：0610-1840IH011143

7
干法金属刻蚀机metaL(2PMCH+2STRIPCH)
5台
适用于金属铝线等配线刻蚀
招标编号：0610-1840IH011143

8
深硅刻蚀6/8兼容，3CH
1台
适用于深宽比较大的硅沟槽刻蚀工艺
招标编号：0610-1840IH011143

3、投标人资格要求;
投标人应具备的资格或业绩:详见招标文件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-11-07
招标文件领购结束时间:2018-11-14