1、招标条件
项目概况:6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目
资金到位或资金来源落实情况:已落实
项目已具备招标条件的说明:已具备
2、招标内容
招标项目编号:0623-1940J1110100/01
招标项目名称:6英寸IGCT动态参数测试系统、膜厚仪、台阶仪采购项目
项目实施地点:中国湖南省
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 包1 | 6英寸IGCT动态参数测试系统 | 1台/套 | 1）计算机控制的自动化测试系统，能进行6英寸及以下IGCT器件的动态开关参数测试，包括标准开关参数测试和极限开关参数测试。 2）测试直流电压：200～4500V，最大电流20000A。 | 以上设备按包确定中标人，包中内容及服务不予拆分。 |
| 包2 | 膜厚仪 | 1台/套 | 1）能够测量硅和碳化硅晶圆上的碳膜、SiO2膜、PSG膜、BPSG膜、多晶硅膜、氮化硅膜、光刻胶膜、PI胶膜等；能够对折射率n、消光系数k等薄膜特性参数进行测量和分析。 2）能够兼容4英寸和6英寸晶圆，包括硅片与碳化硅片。 | 以上设备按包确定中标人，包中内容及服务不予拆分。 |
| 包3 | 台阶仪 | 1台/套 | 1）设备用于SiC功率器件制造过程中，在刻蚀工艺之后测量沟槽的深度和宽度。 2）能够兼容4英寸和6英寸晶圆，包括硅片与碳化硅片。 | 以上设备按包确定中标人，包中内容及服务不予拆分。 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:包一：6英寸IGCT动态参数测试系统 设备
1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，所投设备制造商2015年1月至本项目投标截止时间之前相近类型设备业绩合计不低于5台。（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
注：相近类型设备主要指大功率半导体动态测试设备，包括晶闸管、二极管、IGBT、IGCT等大功率器件或组件的动态参数测试设备。
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件。
包二：膜厚仪 设备
1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，投标人2017年1月至本项目投标截止时间之前同型号设备业绩合计不低于4台。（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件。
包三：台阶仪 设备
1、投标人具有所投设备的制造或销售资格，投标人2017年1月至本项目投标截止时间之前同类设备业绩合计不低于3台。（投标文件中必须提供订单或合同复印件或制造商出具的其他有效证明材料）。
2、投标人如为贸易公司，必须随投标文件提供制造商针对本项目的《制造商授权书》原件
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2019-09-19
招标文件领购结束时间:2019-09-26
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2019-10-10 10:00
投标文件 评标结果将在必联网和 公示。
7、
