1、招标条件
项目概况:X射线离子束镀膜机
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实。
项目已具备招标条件的说明:本次招标所需的资金来源已经落实 招标文件已完善，已具备招标条件。
2、招标内容
招标项目编号:0705-184016336592
招标项目名称:X射线离子束镀膜机
项目实施地点:上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 1) X射线离子束镀膜机 | 1 | 1、*设备功能：双离子束溅射 ，反应溅射，离子束抛光和离子束面形修正。面形修正需配备聚焦离子枪。 2. *溅射离子枪参数 ：能量范围 100-1500eV，离子源输出尺寸大于350mmx100mm。 3. *溅射靶材位置：不少于6个，靶材尺寸不小于400mm长。 4. *聚焦离子枪参数：束斑尺寸最小1mm，能量800-1500eV 5. *基底尺寸：最大尺寸500mm长x300mm宽x80mm厚，同时可做圆对称基底300mm直径。 6. *多层膜镀膜厚度均匀性：500mm x 100mm区域<1% PV，多层膜界面缺陷宽度小于0.4nm。镀膜材料包括Mo, W, Ni, Si, C, B4C等。 7. *基底一维精密运动：行程750mm，定位重复性精度优于0.5mm，速率范围0.01mm/s-40mm/s 8. *聚焦离子枪的4维精密运动系统，配合离子束修正，重复定位精度优于0.05mm。 9. *基底面形修正精度：500mm长平面基底，修正精度误差2nm。直径200mm平面基底，修正精度误差<1nm. 10. *最大基底重量：21kG 11. *极限真空：5x10-6Pa | 项目预算：人民币1360万 |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1） 必须是具有独立法人资格的法人或其他组织，并具有相应的经营范围；
2） 投标人须为投标设备的制造商或投标设备制造商授权的代理商 ；
3） 本项目不接受联合体投标；
4） 投标人须在投标截止期之前在商务部指定的为机电产品国际招标投标活动提供公共服务和行政监督的网上平台 上完成有效注册。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-09-27
招标文件领购结束时间:2018-10-09
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购 招标文件售价:￥300/$50
5、投标文件的递交
投标截止时间 :2018-10-18 09:00
投标文件未曾在电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
编辑：chinabidd
