1. 招标条件
1.1 项目概况：用于声表滤波器工艺制作过程中对关键层光刻胶层图形及金属图形的线宽精度及均匀性进行在线测量控制，保证工艺制作的一致性和重复性。
1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。
1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。
2. 招标内容
2.1招标项目编号：0618-184TC180T8CW
2.2招标项目
2.3项目实施本设备主要用于Φ4英寸晶圆上的光刻/刻蚀/剥离等工艺后关键尺寸在线测试，每片上测试5点时产能达到每小时20片。兼容以上情况是指可以在不换任何硬件的基础上可以完成这些非导电晶片的精确测量。
3. 投标人资格要求
3.1 投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。
3.2 不接受联合体投标：详见投标资料表。
3.3 未在 登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。
4. 招标文件的领购
4.1 招标文件领购开始时间：2018年10月29日
4.2 招标文件领购结束时间：2018年11月22日
4.3 招标文件领购
7.
第二十六研究所
地
未曾在中国电力招标采购网（www.dlztb.com）上注册会员的单位应先注册。登录成功后根据招标公告的相说明下载投标文件！
项目 联系人：李杨
咨询电话：010-51957458
传真：010-51957412
手机：13683233285
QQ:1211306049
微信：Li13683233285 邮箱：1211306049@qq.com
备注：欲购买招标文件的潜在投标人,注册网站并缴纳因特网技术服务费后，查看项目业主，招标公告，中标公示等，并下载资格预审范围，资质要求，招标清单，报名申请表等。为保证您能够顺利投标，具体要求及购买标书操作流程按公告详细内容为准，以招标业主的解答为准本。
