东北师范大学物理学院双腔室金属有机化学气相沉积系统（进口）设备采购招标公告

东北师范大学物理学院

双腔室金属有机化学气相沉积系统（进口）设备采购

单一来源公告

   受东北师范大学的委托，代理“东北师范大学物理学院双腔室金属有机化学气相沉积系统（进口）设备采购”项目，根据《中华人民共和国政府采购法》等有关规定,该项目已报请财政部批准，采用单一来源方式采购，采购人为东北师范大学。

  一、  采购人、采购项目名称和内容：

   采购

   采购项目

项目编号：ZZ83551HW0431-0155

采购预算：135万美元

二、拟采购的货物说明：双腔室金属有机化学气相沉积系统（进口）设备采购，一套。包含采购、安装、调试及售后服务。

   三、单一来源采购方式的原因及相关说明：

我校物理学院拟使用学科建设经费采购一套双腔室金属有机化学气相沉积系统，主要用于加强我校的紫外光发射材料与技术教育部重点实验室的科研基础平台，推进“材料科学与工程”一流学科建设进程。该系统能够满足物理学院对外延生长高质量单晶氧化物和氮化物薄膜的要求，提高现有深紫外探测和发光材料与器件的研究水平和能力。

系统由两个生长室、一个过渡室和一个进样室组成，其中，两个生长室分别配有6路有机源，可用于生长多种氧化物和氮化物材料以及量子阱结构，并可以经过渡室实现氧化物和氮化物的交替生长。衬底加热采用电感耦合式方式，最高衬底温度可达1450oC，能实现高温氮化物的生长。两个生长室均采用主流的喷淋头方式将有机源和反应气体引入生长室，衬底与喷淋头之间的距离可以在1~14cm之间连续可调，便于调节生长工艺。系统配备在线监测系统，可以精确测量衬底温度和薄膜材料的生长速率；配有多种气体探测器、检漏和互锁装置，保证生长过程的安全可靠；配有原厂专业软件对生长过程的实时监控和记录。

根据调研，世界上只有美国Agnitron科技 生产的双腔室金属有机化学气相沉积系统能满足用户的指标要求，该设备国内唯一指定代理商为北京中精仪科技 。

  四、 拟定的唯一供应商名称、

供应商

地     

五、其他补充事宜

5.1供货

5.2供 货 期：自签订合同之日起，8个月内完成交付。

5.3质量标准：符合相关国际标准。

5.4质保期：生产厂家质保至少1年。

5.5文件发售2018年12月5日至2018年12月7日(法定公休日、法定节假日除外)，每日上午8:30时至11:30时，下午13:00时至16:00时，购买人持法人营业执照（副本）、法人授权书（或单位介绍信）、被授权人身份证（以上证件复印件加盖公章）在 购买文件。文件售价人民币1500元，售后不退。

5.6响应文件递交的截止时间（协商时间）：2018年12月10日14时00分