1、招标条件
项目概况:用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。
用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求
满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层）
资金到位或资金来源落实情况:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
项目已具备招标条件的说明:现招标人资金已到位，具备了招标条件。
2、招标内容
编号:0613-184022080710/03
名称:铜化学机械研磨设备（顶层金属层）
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
| 序号 | 产品名称 | 数量 | 简要技术规格 | 备注 |
| 1 | 原子层沉积氧化铝炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的原子层沉积氧化铝炉工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求。 | |
| 2 | 键合退火炉 | 1台 | 用于12英寸集成电路生产企业的键合退火工艺，满足28nm及以下的工艺研发及量产需求 | |
| 3 | 铜化学机械研磨设备（顶层金属层） | 1台 | 满足12英寸集成电路生产企业的28nm工艺研发和量产要求，用于铜化学机械研磨设备（顶层金属层） |
3、投标人资格要求
投标人应具备的资格或业绩:1）投标人应为符合《中华人民共和国招标投标法》规定的独立法人或其他组织；
2）投标人或投标货物的制造商须具备向12英寸集成电路制造企业提供此类设备的供货和安装调试经验；
3) 法律、行政法规规定的其他条件。
是否接受联合体投标:不接受
未领购招标文件是否可以参加投标:不可以
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2018-03-18
招标文件领购结束时间:2018-03-23
是否在线售卖标书:否
获取招标文件方式:现场领购
招标文件领购地点：上海市长寿路285号恒达广场16楼（上海机电设备招标有限公司）
招标文件售价:￥1000/$150
5、投标文件的递交
投标截止时间（开标时间）:2018-04-09 09:30
投标文件送达地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼（上海机电设备招标有限公司）
开标地点:上海市长寿路285号恒达广场16楼（上海机电设备招标有限公司）
6、投标人在投标前需在中国电力招标采购网上完成注册。
7、联系方式
招标人:上海华力集成电路制造有限公司
地址:上海市浦东新区张江高科技园区497号
联系人:吴正祺
联系方式:86-21-61871212
招标代理机构:上海机电设备招标有限公司
地址:上海市长寿路285号恒达广场16楼（上海机电设备招标有限公司）
联系人:张伟
联系方式:86-21-32557800
8、汇款方式:
招标代理机构开户银行(人民币):中国建设银行上海市分行营业部
招标代理机构开户银行(美元):中国建设银行上海市分行营业部
账号(人民币):31001550400055646341
账号(美元):31001550400055646341
