受招标人委托对下列产品及服务进行国际公开竞争性招标，于2017-02-06在中国国际招标网公告。本次招标采用传统招标方式，现邀请合格投标人参加投标。
1、招标条件
项目概况:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目工艺设备的干泵采购国际招标
资金到位或资金来源落实情况:本次招标所需的资金来源已经落实
项目已具备招标条件的说明:本项目的招标条件已具备
2、招标内容
招标项目编号:0705-174015604107
招标项目名称:8寸MEMS研发中试线建设项目及物联网/先进传感器产品技术中试平台项目工艺设备的干泵采购
项目实施地点:中国上海市
招标产品列表(主要设备):
序号 产品名称 数量 简要技术规格 备注
1 制程反应真空腔的干泵 28套 适用于有使用到特殊气体的制程反应真空腔，须具备抗腐蚀能力，抽气速率须大于或等于420m3/h， 电机功率不高于5.9kW， inlet 极限底压可到4mTorr。 2017年4月20日前
2 炉管制程反应真空腔的干泵 6套 适用炉管制程的真空腔，抽气速率须大于或等于900m3/h， 电机功率不高于7.4kW， inlet 极限底压可到4mTorr。 2017年4月20日前
3 高温炉管制程反应真空腔的干泵 2套 适用炉管制程的真空腔，须带冷却功能，适应高温制程需求，抽气速率须大于或等于900m3/h， 电机功率不高于7.4kW， inlet 极限底压可到4mTorr。 2017年4月20日前
4 传送真空腔的干泵 24套 适用于传送的真空腔，抽气速率须大于或等于86m3/h，电机功率不高于3.7kW， inlet 极限底压可到25mTorr。 2017年4月20日前
4、招标文件的获取
招标文件领购开始时间:2017-02-
