等离子清洗机采购项目招标公告

等离子清洗机采购招标公告

1. 招标条件

1.1 项目概况：等离子清洗机主要用于湿法清洗后晶圆镀膜前的干法清洗。

1.2 资金到位或资金来源落实情况:已落实。

1.3 项目已具备招标条件的说明：已具备。

2. 招标内容

2.1 项目实施 晶圆的湿法清洗不可避免的用到很多有机溶剂，在镀膜前必须进行除去，否则会导致镀膜的黏附力下降，最终导致器件点焊飞线等严重的失效模式。

3. 投标人资格要求

3.1 投标人应具备的资格或业绩：详见投标资料表。

3.2 不接受联合体投标：详见投标资料表。

3.3 未在 登记并领购招标文件的潜在投标人不得参加投标。

4. 招标文件的领购

4.1 招标文件领购开始时间：2018年11月16日

4.2 招标文件领购结束时间：2018年11月23日

4.3 招标文件领购

4.4 招标文件售价：人民币500元

5. 投标文件的递交

5.1 投标截止时间（开标时间）：2018年12月12日9：30

5.2 投标文件送达

5.3 开标

6.